Практически 90 нм на сегодня. Снижение до 35 нм возможно в близком будущем
Это если имеются в виду устройства, конечно. Художественно атомы раскладывать можно с шагом 4-5 нм, но это чисто лабораторные игрища, не имеющие ясного технологического выхода.