вся эта история с матрицами подается, как практически недостижимая вершина технологии, у некоторых и вовсе намеки чуть ли не на эзотерику - при этом который десяток лет производится оборудование с гораздо лучшей разрешающей способностью.
принцип работы у атомно-силовых достаточно близок к мазеру, только мощность поднять - то что края могут кипеть начать - так охладить мишень до нуля или из тугоплавкого материала делать, делов то.
> принцип работы у атомно-силовых достаточно близок к мазеру, только мощность поднять - то что края могут кипеть начать - так охладить мишень до нуля или из тугоплавкого материала делать, делов то.
А разве основная проблемы малых норм в изготовлении масок?